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Vorlesung "Mikrostrukturtechnik" im Modul "Mikrotechnologie"

(Grundlagen der Mikrostrukturtechnik)

Umfang und Inhalte der Vorlesung

Die Vorlesung "Mikrostrukturtechnik (MST)" wird im Modul "Mikrotechnologie" (Modul Nr. ETIT-016) des Masterstudienganges Elektrotechnik und Informationstechnik jeweils im Sommersemester angeboten. Inhaltsmäßig umfasst sie die wichtigsten  Werkstoffe und Basistechnologien der MST: Vakuumtechnik, Dünnschichttechnik, Ätztechniken; Lithographieverfahren; Silizium-Mikromechanik; LIGA -Technik; alternative Mikrostrukturierverfahren; Aufbau und Verbindungstechnik; Mikrosystemtechnik

 

Veranstaltungszeiten und -orte

 
Vorlesung
Dozent Ort Zeit Semester
Dr.-Ing. Evelyn Drabiniok Moodle: Raum MST 20 Donnerstags, 8:00 - 10:00 SoSe 2020

Hinweis: Derzeit ist geplant, die Veranstaltung im SoSe 2020 als digitele Lehre via Moodle durchzuführen. Im weiteren Verlauf des Semesters ist, je nach behördlicher Vorgage eine Anpassung des Formates möglich.

Anmeldung: Zu der Veranstaltung können Sie sich per Mail (von Ihrer TU-Adresse) bei der Dozentin anmelden. Sie werden dann freigeschaltet.

Klausurtermine
  Ort Datum & Zeit Ergebnisse

 

Klausureinsicht
  Ort Zeit

 

Hinweis:

Außer dokumentenechten Stiften und einem Lineal / Geodreieck sind keine Hilfsmittel erlaubt. Blei-, Rotstifte und Taschenrechner sind nicht zugelassen.

Bitte bringen Sie einen gültigen amtlichen Lichtbildausweis (Personalausweis, Reisepass oder Führerschein) und Ihren Studierendenausweis mit.

Papier für Ihre Lösungen wird zur Verfügung gestellt.



Nebeninhalt

Vorlesungsunterlagen
Mikrostrukturtechnik
& Grundl. d. MST(I)


Einführung 
Teil 01
Teil 02
Teil 03
Teil 04
Teil 05a
Teil 05b
Teil 06
Teil 06a
Teil 07
Teil 08
Teil 09