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Technologien der Mikrostrukturtechnik

Herstellung mikrostrukturierter Formen für die Abformtechnik

 

AbformtechnikDie Photolithographie bietet in Kombination mit galvanischen Abscheideverfahren ideale Voraussetzungen zur Herstellung von Formen für die Abformtechnik in Kunststoffen. Die Anwendungen reichen von der Mikrofluidik über diffraktive Elemente für die LED-Beleuchtungstechnik bis hin zu optischen Wellenleiterstrukturen.

Um den vielfältigen Anforderungen gerecht zu werden, sind spezielle Prozesstechniken entwickelt worden. Dazu zählen Beschichtungsverfahren für große Formate (300 x 400 mm²), Belichtungsverfahren zur Erzeugung glatter Strukturflanken und Methoden zur Einstellung des Flankenwinkels. Zur Herstellung metallischer Formen wurde schließlich ein Galvanoprozess weiterentwickelt, der die rückstandsfreie Trennung von Resiststruktur und Metallform ermöglicht.